掃描電鏡是兼顧冷場(chǎng)的高分辨率和熱場(chǎng)大束流為一體的熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，它幾乎集成了當(dāng)今掃描電鏡的前沿技術(shù)，大電流在保證高分辨率的同時(shí)，得到高速樣品分析結(jié)果，空間分辨率*，對(duì)導(dǎo)電性差的樣品也有很多解決辦法。自動(dòng)化程度高，操作直觀方便，可以稱(chēng)得上是一款難得的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。
掃描電鏡的樣品表面凹凸變化大的邊緣區(qū)域，二次電子散射區(qū)域與樣品表面接近的面積增大，結(jié)果使邊緣區(qū)域二次電子發(fā)射異常地增加。在圖像中這些區(qū)域特別亮，造成不自然地反差，稱(chēng)為“邊緣效應(yīng)”。
這雖然并非由于操作引起地圖像缺陷，但可通過(guò)適當(dāng)?shù)夭僮鞅M量減少。主要的方法是降低加速電壓，可使邊緣效應(yīng)相對(duì)減輕，由于斷口表面高低不平，邊緣區(qū)域由于二次電子發(fā)射異常增加導(dǎo)致樣品邊緣異常增亮，無(wú)法顯示出樣品細(xì)節(jié);邊緣效應(yīng)明顯減輕，但未能*消除。
荷電效應(yīng)、損傷、邊緣效應(yīng)為掃描電鏡圖像常見(jiàn)的圖像缺陷，這些缺陷一些是人為因素產(chǎn)生，一些則是由于掃描電鏡成像原理而不可避免產(chǎn)生，但我們都能通過(guò)一定的方法，如導(dǎo)電法、降低電壓法、快速觀測(cè)法等等而消除或減少圖像缺陷的產(chǎn)生。
實(shí)際操作中，對(duì)于不同的圖像缺陷，要靈活采用各種不同的方法，反復(fù)實(shí)驗(yàn)，并總結(jié)、分析各種方法的優(yōu)劣，才能拍攝出更好、更真實(shí)的圖片。
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